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No.26 ステージヒーター
半導体製造操作用ステージヒーター。現物から解析しヒーター及び本体、出荷検査(真空チャンバー内)まで、一貫製作致します。再生回数、ヒーターの温度均一精度であればコストメリットもあります。
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